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首頁-產品系統(tǒng)--納米壓印服務-GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備

GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備

產品型號:

簡要描述:GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備,自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備,自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

  • GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備主要功能

●全自動納米壓印光刻基底預處理

●機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能

●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗

●旋涂勻膠,包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能

●熱板烘烤、冷板冷卻功能

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