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在發(fā)展中求生存,不斷完善,以良好信譽和科學的管理促進企業(yè)迅速發(fā)展首頁-產品系統(tǒng)--納米壓印服務-GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備
詳細介紹
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備,自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動納米壓印光刻預處理設備主要功能
●全自動納米壓印光刻基底預處理
●機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能
●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●旋涂勻膠,包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能
●熱板烘烤、冷板冷卻功能
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