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勻膠機(jī)在挑選時(shí)有哪些細(xì)節(jié)注意

勻膠機(jī)，也稱為旋涂機(jī)或甩膠機(jī)，是半導(dǎo)體工業(yè)、微電子實(shí)驗(yàn)室以及材料科學(xué)領(lǐng)域中常用的一種設(shè)備。它主要用于在硅片、玻璃、晶片或其他基材上均勻涂覆一層薄膜。選購(gòu)勻膠機(jī)時(shí)需要考慮以下幾個(gè)要點(diǎn)：1.旋轉(zhuǎn)速度和加速度：勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度和加速度是決定涂層均勻性的關(guān)鍵因素。較高的最大旋轉(zhuǎn)速度可以用于涂覆較薄的層，而較快的加速速率有助于快速達(dá)到所需的旋轉(zhuǎn)速度。一般來說，勻膠機(jī)的最大旋轉(zhuǎn)速度可以從幾百轉(zhuǎn)到幾千轉(zhuǎn)每分鐘不等。2.旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性：勻膠過程中的穩(wěn)定性對(duì)于確保涂層的均勻性至關(guān)重要。選擇時(shí)應(yīng)考慮...

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